導讀：2016年10月9日，從成都高新區獲悉，家重點研發計劃重大科學儀器設備開發項目《超光滑表面無損檢測儀》正式啟動。家科技部高新技術研究發展中心、中工程物理研究院、四川省科技廳、成都市科技局、成都高新區科技局相關負責人以及光學行業相關專家近百人參加了啟動儀式。

據了解，《超光滑表面無損檢測儀》是家“十三五”重點研發計劃重大科學儀器設備開發項目，分別獲得家科技部2000萬、成都高新區200萬元資金支持，有企業牽頭，協同內多家技術實力雄厚的大學、研究所和企業形成產、學、研、用相結合的項目團隊共同實施。超光滑表面無損檢測儀主要用于高精度非接觸測量，可以廣泛應用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體制造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片、彎曲度、表面質量等關鍵參數的快速檢測，還可應用于大型現代光學工程系統。據介紹，該項目將通過專項帶動，集成內優勢力量重點創新，解決高精度超光滑表面無損檢測的關鍵技術瓶頸，實現高端超光滑表面無損檢測儀器產化，替代外同類產品，打破外公司的技術壟斷和價格壁壘。

成都高新區科技局相關負責人表示，獲得家重大科技創新項目立項支持且家撥款資金到位的成都高新區企業，可按照撥資金實際到位額的10%進行配套資助申請，同一項目申請金額高不超過200萬元，同一家企業同一年度申請該類資金額度高不超過200萬元。

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